Nicolas Sommer Conductivity and Structure of Sputtered ZnO:Al on Flat and Textured Substrates for Thin-Film Solar Cells

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Inhaltsangabe zu „Conductivity and Structure of Sputtered ZnO:Al on Flat and Textured Substrates for Thin-Film Solar Cells“ von Nicolas Sommer

Aluminium-dotiertes Zinkoxid (ZnO:Al) ist ein wichtiger Vertreter der Materialklasse
der transparenten, leitfähigen Oxide (TCO). TCOs sind sowohl elektrisch leitfähig als
auch transparent im sichtbaren Spektralbereich. Diese einzigartigen Eigenschaften
begründen die breite Anwendung von TCOs im Bereich der optoelektronischen
Bauelemente. Die vorliegende Arbeit zielt auf die Anwendung von TCOs in Siliziumund
Chalcopyrit-basierten Dünnschichtsolarzellen. Im Regelfall werden TCOs auf

achen Substraten aufgebracht. Allerdings verlangt das TCO-Wachstum auf texturierten,
lichtstreuenden Substraten für Silizium-basierte Dünnschichtsolarzellen und
raue Chalcopyrit-Absorber zusätzlich nach der Optimierung der TCO-Deposition auf
texturierten Substraten. Daher wird im Folgenden die Deposition von gesputtertem
ZnO:Al sowohl auf
achen als auch auf texturierten Substraten erörtert. Der Fokus
liegt auf dem Verständnis und der Optimierung der elektrischen Leitfähigkeit begleitet
von einer detaillierten Untersuchung der Materialstruktur

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