Nicolas Sommer Conductivity and Structure of Sputtered ZnO:Al on Flat and Textured Substrates for Thin-Film Solar Cells

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Inhaltsangabe zu „Conductivity and Structure of Sputtered ZnO:Al on Flat and Textured Substrates for Thin-Film Solar Cells“ von Nicolas Sommer

Aluminium-dotiertes Zinkoxid (ZnO:Al) ist ein wichtiger Vertreter der Materialklasse der transparenten, leitfähigen Oxide (TCO). TCOs sind sowohl elektrisch leitfähig als auch transparent im sichtbaren Spektralbereich. Diese einzigartigen Eigenschaften begründen die breite Anwendung von TCOs im Bereich der optoelektronischen Bauelemente. Die vorliegende Arbeit zielt auf die Anwendung von TCOs in Siliziumund Chalcopyrit-basierten Dünnschichtsolarzellen. Im Regelfall werden TCOs auf achen Substraten aufgebracht. Allerdings verlangt das TCO-Wachstum auf texturierten, lichtstreuenden Substraten für Silizium-basierte Dünnschichtsolarzellen und raue Chalcopyrit-Absorber zusätzlich nach der Optimierung der TCO-Deposition auf texturierten Substraten. Daher wird im Folgenden die Deposition von gesputtertem ZnO:Al sowohl auf achen als auch auf texturierten Substraten erörtert. Der Fokus liegt auf dem Verständnis und der Optimierung der elektrischen Leitfähigkeit begleitet von einer detaillierten Untersuchung der Materialstruktur

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